超纯水一般是指电阻率在10M*cm（25℃）以上的纯水。电阻率在作业时分的温度25℃时,最高理论值能到达18.25M/cm超纯水，也就是说实践超纯水设备产水在线M/cm超纯水。
超纯水，是一般工艺很难到达的程度，选用预处理、反渗透技能、超纯化处理以及后级处理四大过程，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC设备、EDI电除盐设备、抛光混床单元等多种处理办法，电阻率方可达18.2M以上。
超纯水大多数都用在电子半导体和微电子工业，也用于食物、造纸、医药、电子、核工业等职业。
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