不久前,世界三大领先的半导体代工厂台积电、格芯、三星加入 imec 的可持续半导体技术与系统 (SSTS) 研究计划,以帮助减少 IC 价值链的生态影响。此举也再次证明,降低资源消耗,推进可持续技术探讨研究,是半导体企业降本增效,推进高水平发展的重要路径。

  水资源是半导体制造中最重要的资源之一,随着半导体需求量开始上涨,半导体行业使用、处理和管理水资源变得愈加重要。因此,慢慢的变多的公司开始重视这一课题,并通过与服务商合作提升半导体用水效能,降低生产所带来的成本和资源消耗,朝着更有效率更可持续的方向迈进。高频科技等具备先进超纯水工艺和循环再生解决方案的服务商,也相应地受到半导体企业的青睐,成为行业可持续发展的赋能者。

  对半导体企业而言,提升良品率,能大大降低原材料浪费,节约大量成本,有助于推动可持续发展。而超纯水作为半导体制作的完整过程中不可或缺的一环,其工艺的先进性和稳定能力直接影响产品的质量和生产效率,与产品良率及经济效益密切关联。随着半导体迈向先进制程,对超纯水的要求也不断提高。

  提高水资源利用率,同样有利于节省本金,并减少对地下水资源的消耗。半导体是用水大户,而且芯片生产的先进制程技术越进步清洗步骤越多,用水量会呈指数级提升。典型的8吋晶圆的生产制造每片需要消耗约2-4吨水;大于28纳米制程的12吋晶圆生产制造每片需要消耗约6-7吨水;当制程达到14-28纳米时每片需要消耗约18-20吨水。而晶圆厂的产能,通常是每月数万片甚至数十万片,耗水量可谓惊人。在这一情况下,半导体公司开始探索通过提升水资源利用率来降低生产所带来的成本。例如,台积电通过再生水替代措施,做到了一滴水循环使用 3.5 次。目前其所使用的水源中,85%-90%都是再生水。

  作为立足于超纯工艺能力的工业级技术服务商,高频科技专注于芯片、显示等半导体高端制造业领域,通过提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备,助力半导体企业提升良品率和水资源利用效率,实现高效可持续发展。

  依托行业经验、技术、人才等优势能力,高频科技不断探索超纯水的绝对纯度,已经完全掌握了先进半导体制程需要的超纯水生产全部核心工艺,特别是在PPB级别的TOC,溶解氧去除,以及PPT级别的硼、硅等特殊物质的去除方面,已能够成就水工业能力99.9999999999%(万亿分之一)的极致体现,协助半导体产品良率和生产效率提升。

  为了帮企业提升水资源利用率,高频科技研发打造的废水循环再生系统,能够在一定程度上帮助半导体企业减少废水量、减少用水量、减少能耗、减少化学品使用、减少设备使用损耗,通过保障水制程回收率 (可达 75% ～ 90%)、保障微量元素回收利用等来实现绿色厂务,满足降本增效可持续发展目标。

  此外,高频科技依托公司大批自有优秀半导体水系统专家的资深经验,创立标准化运维 专家模型,为半导体工厂量身定做一体化运维服务体系,实现用户全周期运维需求,规范管理、降本增效。此体系将逐步实现专家数据化,通过数字化运维帮客户实现省事舒心、内部创新的目的。

  半导体行业高度全球化,大量国家/地区的企业围绕成本、良品率、生产效率、经济效益等多重维度展开竞争。除了自身研发技术和创新外,超纯水供应链服务商的选择,同样关系着企业能否在以上维度确立竞争优势,实现可持续发展。高频科技为代表的本土超纯水企业,不断深耕超纯水工艺,满足日益提升的芯片制造相关需求,为半导体行业带来更高的价值和竞争优势。

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