纯水又称纯净水，是指以契合日子饮用水卫生标准的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他恰当的加工办法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色通明，可直接饮用的水。市场上出售的太空水，蒸馏水均属纯净水。
超纯水是在纯水的基础上进一步将水中的导电介质简直彻底去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或挨近18.25MΩ*cm极限值。
超纯水是一般工艺很难到达的程度，能够将微滤技能、超滤技能、反渗透技能、EDI技能，离子交换技能中的两种及以上的技能，通过合理的工艺规划，设备选型，方可制作出超纯水，电阻率可达18.20MΩ*cm
纯水和超纯水差异存在于许多方面，这儿只列举了其间的一些方面，现归纳如下：
电导率不同，纯水电导率在2-10us/cm之间，超纯水的电导率为0.056us/cm；
制作的难易程度不同，现在市场上运用的纯水大多数都是通过反渗透和蒸馏两种办法制得，而超纯水是在纯水的基础上还要通过光氧化技能、精处理和抛光处理等一系列杂乱的纯化技能制得的。
重金属、细菌、微粒数等目标也大不相同，纯水是ppm级，而超纯水为ppb级，简略地说超纯水中已无什么杂质，挨近于理论上的水。
对运送管道原料的要求也不相同，超纯水对运送管道原料的要求要比超纯水严厉的多。
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